主要產(chǎn)品
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設備緩存存儲柜NTB
應用場景：作為生產(chǎn)節(jié)拍高的設備前端的緩存空間，它將等待加工和搬送的晶圓物料臨時儲存起來，自動快速的完成天車及Load Port的物料取放對接任務，大幅提高工業(yè)設備的使用效率
產(chǎn)品特點
– 高潔凈度、高精度、高可靠性
– 抽屜式可拉出Manual Port
– 針對2-4 Port, 提供客戶定制系統(tǒng)
– 根據(jù)需要可配置6-12個Buffer
– 符合SEMI標準，可與Fab系統(tǒng)數(shù)據(jù)交互，以及基于E84通訊協(xié)議對接天車系統(tǒng)
核心技術
– 高精度、高可靠性、高潔凈度
– 振動抑制技術
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