2025年8月1日,合肥欣奕華智能機器股份有限公司(以下簡稱“欣奕華智”)在某第三代半導(dǎo)體晶圓廠完成國產(chǎn)AMHS首批設(shè)備搬入。該項目是繼國內(nèi)首個8寸前道制程Fully Auto AMHS國產(chǎn)化項目后,客戶集團的再次復(fù)購合作,同時創(chuàng)下國內(nèi)第三代半導(dǎo)體領(lǐng)域AMHS國產(chǎn)化突破的里程碑。
本次交付彰顯了欣奕華智在半導(dǎo)體AMHS領(lǐng)域的技術(shù)實力與高效交付能力,其系統(tǒng)通過自主開發(fā)的動態(tài)調(diào)度算法與潔凈搬運技術(shù),為中國高端晶圓制造提供關(guān)鍵支撐。項目標(biāo)志著雙方戰(zhàn)略合作進入新階段,欣奕華智將加速推進系統(tǒng)聯(lián)調(diào),保障產(chǎn)線按期投產(chǎn),助力集成電路產(chǎn)業(yè)自主創(chuàng)新與高質(zhì)量發(fā)展。