近日,安徽省科技廳組織專家,對由新型顯示高端裝備安徽省重點實驗室(以下簡稱“重點實驗室”)承擔的安徽省重大科技攻堅計劃項目展開第一階段里程碑考核。實驗室主任劉正勇分別就項目總體執(zhí)行情況、項目研究內(nèi)容開展情況、項目成果產(chǎn)出情況、項目管理情況及資金使用情況向與會專家組進行匯報。專家經(jīng)質(zhì)詢和閉門討論,一致同意項目第一階段里程碑考核通過。
重點實驗室承擔的“圓制造大規(guī)模高速智能天車系統(tǒng)開發(fā)與應用項目”是安徽省科技廳2024年公示立項的219個重大項目之一。項目針對被國外壟斷的智能天車系統(tǒng),結(jié)合人工智能大數(shù)據(jù)分析、模態(tài)分析與有限元技術(shù),突破安全聯(lián)鎖、高潔凈與靜電控制、智能全局調(diào)度系統(tǒng)、高速低振控制系統(tǒng)等核心技術(shù),通過創(chuàng)新的調(diào)度優(yōu)化、穩(wěn)定性控制和故障診斷與運維策略等,實現(xiàn)大規(guī)模天車智能制造系統(tǒng)的高效運行,大幅提升了系統(tǒng)的響應速度、運行性能、潔凈標準和可靠性。通過項目的開展,將有效提升泛半導體產(chǎn)業(yè)在天車領(lǐng)域的自主可控,避免技術(shù)工藝參數(shù)和技術(shù)秘密泄露,確保我國在新型顯示和半導體芯片領(lǐng)域的核心競爭力,擺脫對國外技術(shù)的依賴,保障我國泛半導體產(chǎn)業(yè)的長遠發(fā)展和國家安全。
2024年,重點實驗室主要開展了技術(shù)預研,明確了天車系統(tǒng)動態(tài)高效調(diào)度方法研究、高速天車動態(tài)穩(wěn)定性控制方法研究、大規(guī)模天車系統(tǒng)安全性控制方法研究、智能化故障診斷與運維策略、晶圓制造大規(guī)模高速智能天車系統(tǒng)開發(fā)與應用及實驗驗證等關(guān)鍵技術(shù)點;開展了天車系統(tǒng)智能全局動態(tài)高效調(diào)度方案設(shè)計、高速天車動態(tài)穩(wěn)定性控制方案設(shè)計、高潔凈生產(chǎn)環(huán)境保持與安全性控制方案的制定,氣動分析和智能化故障診斷與運維策略框架的研究。
下一步,重點實驗室將繼續(xù)推動該項目的執(zhí)行和研發(fā),完成任務既定目標,保障我國泛半導體領(lǐng)域核心裝備自主可控。