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據(jù)悉，近日泛半導體智能制造整體解決方案供應商合肥欣奕華智能機器股份有限公司（以下簡稱“合肥欣奕華”）已完成12inch半導體自動物料搬送系統(tǒng)AMHS（Automatic Material Handling System）的開發(fā)和Demo系統(tǒng)運營，并通過了技術規(guī)格驗證。

芯片制造對工藝和環(huán)境要求很高——先進的12inch半導體工廠需要無塵潔凈的環(huán)境，對整個工廠運營的自動化、智能化程度要求很高，這使得如何提高整個潔凈工廠的空間利用率、減少機臺的閑置時間、提升生產效率和產品良率成為其重點關心的問題。

據(jù)悉，12inch半導體制造工廠的AMHS系統(tǒng)由多種硬件設備（OHT、OHB、OHCV、Stocker、Lifter、NTB等）和軟件系統(tǒng)（MCS、OCS、STKC等）組成。AMHS系統(tǒng)可以在潔凈環(huán)境中實現(xiàn)復雜工藝間的無人自動搬送，提升運營效率的同時確保品質和良率。因此AMHS系統(tǒng)是12inch先進工藝晶圓廠大規(guī)模量產，提高生產效率的優(yōu)先選擇。隨著行業(yè)技術發(fā)展，AMHS也將被大規(guī)模應用于12inch硅片制造、芯片制造、先進封裝等各種半導體制造工序中。

合肥欣奕華AMHS系統(tǒng)的搬送效率、晶圓保護、動作精度等各項性能指標均達到國際先進水平，擁有自主開發(fā)的路徑搜索算法，具備大規(guī)模車輛智能調度能力。其中自主研發(fā)的高速OHT產品，技術規(guī)格和信賴性達到業(yè)界先進水平，可以在最高320m/min的高速行駛下平穩(wěn)運行，同時高速行駛的振動數(shù)據(jù)、移栽速度、Vehicle間防沖撞控制等技術指標比肩業(yè)界頂尖供應商。合肥欣奕華OHT最大負載15公斤，可以對應多種制造工序的產品，而且具備單LOOP內同時控制200臺Vehicle的配車能力。

“我們打造了占地面積400平米，有數(shù)百米軌道的龐大AMHS Demo系統(tǒng)，產品具備先進的技術和快速迭代能力。OHT和Stocker的Demo為了驗證復雜系統(tǒng)的信賴性和技術指標，OHT設計了多種復雜軌道環(huán)境，包括直軌、轉彎、分歧合流部等，進一步還特別設計并驗證傾斜軌道爬坡功能、雙層軌道、軌道自清潔功能以及搬送中的晶圓盒后蓋異常實時偵測功能等。我們還對核心部品無線供電系統(tǒng)進行了冗余化設計，對軟件系統(tǒng)的服務器進行自動切換的雙機熱備設計，大大增加了系統(tǒng)的信賴性。軟件方面，OCS控制系統(tǒng)和MCS系統(tǒng)使用新型軟件架構，支持海量大數(shù)據(jù)的快速采集和分析，支持不停機更新，其系統(tǒng)具備實時數(shù)據(jù)管理與統(tǒng)計、情景3D重現(xiàn)、Vehicle預約、FDC監(jiān)控、路徑規(guī)劃算法的動態(tài)更新等創(chuàng)新功能?！焙戏市擂热AAMHS產品負責人介紹到，“客戶很關注我們在大規(guī)模量產制造下系統(tǒng)對應能力，為此我們特意搭建了Digital Twin（數(shù)字孿生）平臺，不但能加快產品設計迭代的速度，還能構建與客戶工廠相同的數(shù)字化虛擬工廠，模擬設備、系統(tǒng)和真實生產制造的環(huán)境，從而驗證超大規(guī)?？刂颇芰?。我們提供了一個高信賴性、高效的12inch晶圓AMHS系統(tǒng)的整體解決方案?！睋?jù)了解，開發(fā)團隊擁有超過15年AMHS從業(yè)經驗，深刻理解半導體AMHS產品應用及產品技術，目前已申請專利和軟著二十多項。

合肥欣奕華具備完善的制造品質和供應鏈體系，面對半導體行業(yè)的品質和交期需求，專為AMHS系統(tǒng)生產準備的超4000平方米的高潔凈車間已做好充分的量產準備，將為客戶提供優(yōu)質的產品、適合的客制化系統(tǒng)解決方案、極具競爭力的交付周期和快速反應的本土化服務。合肥欣奕華以產業(yè)報國為抱負，始終秉持對核心技術的尊重和對創(chuàng)新的堅持，秉持技術是產品生命力的理念，堅信只有開發(fā)創(chuàng)新的技術和平臺，提供優(yōu)質的產品和服務，才能為客戶創(chuàng)造更大的價值，為中國半導體行業(yè)更快發(fā)展出一份力。（轉自：北京日報）